GMP認(rèn)證車(chē)間潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來(lái)自設(shè)備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi);產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般，可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應(yīng)用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來(lái)自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也不斷減少。材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

凈化車(chē)間吸塵器的吸塵原理及基本結(jié)構(gòu)

吸塵器的清潔原理是借助吸氣作用，從地板、地毯、墻壁、家具及其它不易用掃帚清除污垢的表面吸走灰塵和干的贓物，如線、紙屑、頭發(fā)等。它的主要部件是真空泵、過(guò)濾袋、軟管、延長(zhǎng)管及各種形狀的不同管嘴。現(xiàn)代的在附件上變化多樣，為清除地毯污物設(shè)計(jì)出了粗毛刷、細(xì)毛刷、轉(zhuǎn)動(dòng)毛刷，清理墻角用的是扁形管嘴、清理地析板用磨光刷等。

凈化車(chē)間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(凈化車(chē)間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車(chē)間為集成電路制造必不能少的因素。