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國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截?cái)?、開(kāi)方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線(xiàn)鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線(xiàn)切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線(xiàn)線(xiàn)速度: 小于60 m/s
3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
環(huán)形線(xiàn)鋸
目前,大型往復(fù)式金剛石線(xiàn)鋸機(jī)占金剛石線(xiàn)鋸主導(dǎo)地位。但往復(fù)式由于受到正反轉(zhuǎn)慣性作用,線(xiàn)速比較低,僅是3-10m/S,效率很低,且因?yàn)橥鶑?fù)切割,導(dǎo)致工件表面質(zhì)量不一致
環(huán)形線(xiàn)鋸則克服了往復(fù)線(xiàn)鋸的缺點(diǎn),線(xiàn)速可高達(dá)60m/s,可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn),因此在硅晶體、工業(yè)陶瓷加工等工業(yè)領(lǐng)域得到推廣應(yīng)用,并顯示出其獨(dú)特的及優(yōu)越性。隨著半導(dǎo)體、光伏材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在硅、陶瓷、玉石、石墨模具、名貴石材等行業(yè)有著廣闊的應(yīng)用前景。
線(xiàn)切割設(shè)備
切割液
金剛線(xiàn)切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻,所以主要采取冷卻水或油基冷卻。使用水做切割液可以混合部分粘合劑,減輕清洗工序工作強(qiáng)度;隨著光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體等高精端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,硬脆性材料,如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等材料的切割加工顯得猶為重要。另一個(gè)作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相對(duì)復(fù)雜的化學(xué)方法處理,提高了回收成本。
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IC器件的基礎(chǔ)性材料是半導(dǎo)體硅單晶材料,因此,世界各國(guó)對(duì)硅單晶材料的消耗量反映了一個(gè)國(guó)家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平,同時(shí)各國(guó)硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個(gè)國(guó)家IC工業(yè)的材料基礎(chǔ)的實(shí)力。
線(xiàn)切割設(shè)備廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池用單晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶體的切割。其加工速度快,切面質(zhì)量好,被市場(chǎng)認(rèn)可。