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影響鍍膜機磁控靶點火電壓的因素有哪些
靶材對點火電壓的影響
(1)陰極靶材的不同材質,因濺射的能量閥值的不同,一般濺射“逸出功”較小的陰極靶材,其點火電壓和工作的電壓要低一些,反之則會高一些。(2)鐵磁性靶材(鐵、鈷、鎳、氮化鐵等)和鐵素體靶材,會偏轉和減少陰極濺射靶面磁場對磁控靶造成影響。靶面磁場的降低,使磁控靶需要很高的電壓才能點火起輝。(3)點火電壓與磁控靶靶材濺射面積和真空腔體的機械尺寸大小有關。靶材濺射面積大,或是真空腔體的機械尺寸大,相應充入工作氣體的數(shù)量值較多,在同一陰-陽極電壓下,工作氣體例如氣電離出導電正離子和電子亦增多,導致點火電壓下降(在鍍膜時還會造成磁控靶濺射電壓一定程度上的降低)。
磁控濺射鍍膜靶電源的空載電壓
(1)靶電源輸出的空載電壓主要供磁控靶“點火起輝”用,其峰值電壓大體可分為三擋,即:800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。(2)大約在5KW以下的靶電源輸出空載電壓的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶電源其輸出的空載電壓的峰-峰值Vp-p大約在800~1KV;且電源功率越大,其輸出的空載電壓越接近偏小值。(3)鐵磁性靶材(鐵、鈷、鎳、氮化鐵)以及其它鐵素體靶材,在選用靶電源輸出的空載電壓時,須選擇靶電源輸出空載電壓峰-峰值Vp-p范圍的偏大數(shù)值。
鍍膜設備類型:
—空氣:(1)進口和出口區(qū)配備動態(tài)鎖定輥系統(tǒng),確保帶材不間斷運動(2)帶材緩沖器、連接和分離裝置以及放置于鍍膜機前、后端大氣中的放卷機和收卷機,以保證連續(xù)生產(chǎn)(3)生產(chǎn)周期僅受限于靶材/真空腔體內蒸發(fā)物儲存量
—分批式:(1)真空工藝區(qū)入口和出口處連接的卷軸裝載鎖定腔體,使用帶材閥隔開(2)可在不中斷工藝真空的前提下裝載和卸載卷軸(3)生產(chǎn)周期為1卷軸的時間,然后停止,進行卷軸更換;帶材廢料長度約為工藝部分的兩倍(4)電子束工藝配備額外的檔板,用以補償卷軸更換
鍍膜模式:單面鍍膜:(1)所有鍍膜工具均位于帶材的一側(2)使用電子束(EB)工藝時,(一般情況下)帶材的底側將被鍍膜雙面鍍膜:(1)鍍膜工具均位于帶材的一側,卷材改變走帶方向(2)需要二次鍍膜與傳動裝置配備
非接觸式鍍膜選項針對敏感的光學鍍膜,提供非接觸式機器概念。
真空鍍膜機實驗專用設備的主要用途真空鍍膜技術分析
真空鍍膜機實驗專用設備主要用于大專院校、科研單位、實驗和研制之用。根據(jù)工藝要求研究出不同種類、不同規(guī)格、多功能的實驗裝置,或為某產(chǎn)品需要特研制的專用設備。
本公司從事真空鍍膜機設計生產(chǎn),有著豐富的鍍膜技術及設備的設計制造經(jīng)驗。是集設備生產(chǎn)與技術服務于一體的高科技企業(yè)。本司提供多種型號多弧,磁控,中頻離子真空鍍膜機,并可為客戶量身訂制專用型號真空鍍膜機并提供從設備制造、安裝調試到生產(chǎn)工藝的一站式服務。本公司生產(chǎn)的系列裝搭生產(chǎn)線、系列高低溫、燃油、電熱烘干箱、系列環(huán)保噴臺等產(chǎn)品的單位。廣泛用于汽配、摩配、鞋業(yè)、工藝品、電器、機械等。是電鍍、電泳、噴漆、噴塑行業(yè)中不可缺少的設備。
磁控濺射鍍膜機的工作原理是怎樣的?公司擁有一支從事多年表面處理設備設計、并具有實踐經(jīng)驗的技術隊伍及優(yōu)良素質的施工隊伍。為滿足技術的不斷進步及參與大型電鍍工程涂裝工種的建設,我公司與全國多名有時間經(jīng)驗的工程師及電鍍添加劑骨干企業(yè)保持著密切技術聯(lián)系與合作,可以針對客戶要求,提供表面處理工藝及設備設計,提供設備的制造、安裝、調試及的售后服務。
鍍膜機真空機械選擇
鍍膜機真空機械選擇 鍍膜機真空機械選擇,真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 ⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施?!?⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。