真空系統(tǒng)維修方法之:壓力檢漏法中的氣泡檢漏法　　

氣泡檢漏法就是在被檢件內(nèi)充入一定壓力的示漏氣體，然后放到液體中，如果有漏孔存在，氣體就會通過漏孔進(jìn)入周圍的液體形成氣泡，從而確定漏孔位置。別的，對一般的真空設(shè)備來說，能下降吸入泵中的蒸氣及粉塵所引起的油污的程度，然后削減油替換的頻率，下降運(yùn)用本錢。同時(shí)根據(jù)充入氣體的壓力，氣泡形成的速率(每秒鐘形成的個(gè)數(shù))、大小(氣泡直徑)，結(jié)合氣體液體的性質(zhì)來大致估算漏孔的漏率。氣泡檢漏法方法簡單、直觀、經(jīng)濟(jì)，但因?yàn)樾枰粰z件內(nèi)充入氣體，所以適用于能承受正壓的被檢件的氣密性檢驗(yàn)。

ULVAC機(jī)工株式會社作為專門制造銷售小型真空泵及小型真空儀器、裝置的廠家，產(chǎn)品應(yīng)用于各行業(yè)的高、中、低真空領(lǐng)域。特別是真空儀器、裝置上配用的小型真空泵，產(chǎn)品品種、品質(zhì)均處于世界領(lǐng)導(dǎo)地位，滿足了各小型真空泵的專業(yè)使用廠家的需求。

愛發(fā)科真空泵

株式會社ULVAC作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum)的真空技術(shù)先驅(qū)，以電子技術(shù)及信息通信技術(shù)為首，在能源、環(huán)保、運(yùn)輸、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域，以生產(chǎn)設(shè)備為中心、提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品。干式真空泵，基于它自潤滑而著稱，在印刷行業(yè)干式真空泵以干式旋片式真空泵居多，半導(dǎo)體、LED封裝測試則以螺桿、爪式、復(fù)合型干泵居多，這種泵通常以大抽速、高真空為其重要特點(diǎn)。特別是在半導(dǎo)體制造設(shè)備及平面顯示器等制造設(shè)備方面，以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，進(jìn)行了各種技術(shù)開發(fā)，已經(jīng)和正在提供作為制造工藝重要部分的先進(jìn)設(shè)備。

真空泵注意事項(xiàng)

1、真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓力要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg（絕壓）的工作壓力，選用的真空泵的極限壓力至少要2mmHg，能低于1mmHg。通常選擇泵的極限壓力要高于真空設(shè)備工作壓力半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。

2、正確地選擇羅茨真空機(jī)組的工作點(diǎn)。愛發(fā)科VDN401真空泵日常保養(yǎng)注意點(diǎn)：為使日常保養(yǎng)工作方便容易，油量確認(rèn)、油補(bǔ)充、油更換的方向?yàn)橥徊僮鞣较颉Ａ_茨真空機(jī)組的正常工作范圍為吸入壓力~極限壓力×5。例：JZJ2B150-2.1羅茨水環(huán)真空機(jī)組的正常工作范圍為：6000Pa~125Pa，該工作范圍為主泵開啟后的正常工作壓力范圍，該機(jī)組在此工作范圍之內(nèi)效率。

3、水環(huán)真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。